それぞれの特性を知れば、使い分けが明確に。

デジタルマイクロスコープのメリットの1つは、対象物をXYステージに載せればすぐに観察できる手軽さ。電子顕微鏡を用いる前に、デジタルマイクロスコープで対象物の観察ポイントを洗い出す。その手順を踏むことで、効率的な拡大観察が進められます。

Tips01で説明した使い分けにならって、デジタルマイクロスコープとSEMの関係を見ましょう。

たとえば、ダイシングされた半導体ウェーハのエッジの欠陥を解析するとき、デジタルマイクロスコープで拡大しておおよその位置を確認。イオンミリング（微細加工装置）で必要な箇所をレーザー加工した試料をSEMで観察する、という関わりになります。SEMによる観察の結果によっては、再度デジタルマイクロスコープで位置を特定する、という工程も発生します。

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ズームレンズを知るTips集
【Tips01】光学顕微鏡と走査電子顕微鏡（SEM）の使い分け
【Tips02】「デジタルマイクロスコープ」と「SEM」の勘違い
【Tips03】「デジタルマイクロスコープ」「SEM」の役割分担
【Tips04】朝日光学のレンズがもたらすデジタルマイクロスコープの進化
【Tips05】朝日光学ズームレンズによるアプリケーションの強み①
【Tips06】朝日光学ズームレンズによるアプリケーションの強み②