Tips 03
「デジタルマイクロスコープ」「SEM」の役割分担

それぞれの特性を知れば、使い分けが明確に。

それぞれの特性を知れば、使い分けが明確に。

デジタルマイクロスコープのメリットの1つは、対象物をXYステージに載せればすぐに観察できる手軽さ。電子顕微鏡を用いる前に、デジタルマイクロスコープで対象物の観察ポイントを洗い出す。その手順を踏むことで、効率的な拡大観察が進められます。

Tips01で説明した使い分けにならって、デジタルマイクロスコープとSEMの関係を見ましょう。

たとえば、ダイシングされた半導体ウェーハのエッジの欠陥を解析するとき、デジタルマイクロスコープで拡大しておおよその位置を確認。イオンミリング(微細加工装置)で必要な箇所をレーザー加工した試料をSEMで観察する、という関わりになります。SEMによる観察の結果によっては、再度デジタルマイクロスコープで位置を特定する、という工程も発生します。